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高纯氮气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统要先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。氮气是难液化的气体。氮气在低温下会液化成无色液体，进一步降低温度时，更会形成白色晶状固体。在生产中，高纯氮气通常采用黑色钢瓶盛放。
